銷售咨詢熱線：
17607554908
產(chǎn)品分類
Product Category池田屋推出光津精機(jī)（Kohzu Precision）品牌MVZA07A-X103真空兼容Z軸平臺(tái)。該產(chǎn)品為垂直安裝的真空兼容型自動(dòng)Z軸平臺(tái)，采用精密十字滾輪導(dǎo)軌，臺(tái)面尺寸70×70mm，行程±10mm，重復(fù)定位精度≤±0.5μm，適用于真空環(huán)境下的垂直精密定位與測(cè)量應(yīng)用。
一、產(chǎn)品概述
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | 真空兼容Z軸平臺(tái) |
| 型號(hào) | MVZA07A-X103 |
| 品牌 | 光津精機(jī)（Kohzu Precision） |
| 臺(tái)面尺寸 | 70mm × 70mm |
| 導(dǎo)向方式 | 精密十字滾輪導(dǎo)軌 |
| 活動(dòng)范圍 | ±10mm |
| 進(jìn)給方式 | 研磨絲杠，導(dǎo)程0.5mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 本體重量 | 約1.4kg |
| 安裝方向 | 垂直安裝 |
二、運(yùn)動(dòng)與分辨率
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 1.0μm / 0.5μm |
| 分辨率（微步進(jìn)1/20格） | 0.05μm |
| 最高速度 | 2.5mm/s（5kHz半步） |
| 重復(fù)定位精度 | ≤±0.5μm |
| 失動(dòng)量 | ≤1.5μm |
| 垂直度 | ≤7μm/20mm |
三、承載能力
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 水平承載能力 | 49N（5kgf） |
四、電氣規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 電機(jī) | 真空兼容5相步進(jìn)電機(jī) |
| 額定電流 | 1.4A/相 |
| 基本步進(jìn)角 | 0.72° |
| 連接器類型 | 真空兼容D-sub 9針連接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特點(diǎn)
垂直安裝Z軸定位：專為垂直方向精密定位設(shè)計(jì)，適用于真空環(huán)境下的升降和高度調(diào)整。
高精度定位：重復(fù)定位精度≤±0.5μm，微步進(jìn)分辨率0.05μm，滿足高精度垂直定位需求。
精密十字滾輪導(dǎo)軌：采用精密十字滾輪導(dǎo)軌，確保垂直運(yùn)動(dòng)的高剛性和低摩擦。
研磨絲杠進(jìn)給：采用高分辨率研磨絲杠（導(dǎo)程0.5mm），實(shí)現(xiàn)平滑、精確的垂直運(yùn)動(dòng)。
真空兼容設(shè)計(jì)：采用真空兼容型5相步進(jìn)電機(jī)和真空兼容連接器，適用于真空環(huán)境。
六、典型應(yīng)用場(chǎng)景
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體用途 |
|---|---|
| 真空環(huán)境 | 真空腔體內(nèi)的垂直精密定位 |
| 半導(dǎo)體制造 | 真空工藝中的晶圓高度調(diào)整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析設(shè)備的樣品Z軸定位 |
| 薄膜沉積 | 濺射、蒸鍍等真空工藝中的基板高度調(diào)整 |
| 同步輻射 | 真空光束線中的光學(xué)元件垂直定位 |
| 科研實(shí)驗(yàn) | 真空環(huán)境下的精密高度測(cè)量與定位 |
七、使用注意事項(xiàng)
本產(chǎn)品為垂直安裝型Z軸平臺(tái)，安裝時(shí)需注意方向
使用前需確認(rèn)真空兼容電機(jī)的規(guī)格和連接器類型
安裝時(shí)需注意真空環(huán)境下的散熱和材料放氣特性
水平承載能力49N（5kgf），請(qǐng)勿超載使用
垂直度≤7μm/20mm，確保運(yùn)動(dòng)垂直性
建議在清潔環(huán)境中安裝，避免顆粒污染
池田屋表示，光津精機(jī)MVZA07A-X103真空兼容Z軸平臺(tái)憑借垂直安裝設(shè)計(jì)、≤±0.5μm重復(fù)定位精度及真空兼容性能，可滿足真空環(huán)境下的高精度垂直定位需求。
電話
微信掃一掃
