一、產(chǎn)品概述

ULVAC愛發(fā)科推出的 ECO-SHOCK 系列干泵節(jié)能附件，是一款通過安裝在現(xiàn)有干式真空泵排氣口上，實現(xiàn)大幅節(jié)電的創(chuàng)新型附件 。型號 ES4A 是該系列中的大功率規(guī)格，最大功耗400W，適用于濺射設(shè)備裝載/卸載室等需要頻繁排氣的干泵系統(tǒng) 。該產(chǎn)品在1000Pa以下連續(xù)運轉(zhuǎn)時間較長的用途中，可將干泵耗電量最大減少80%，同時還有抑制干泵發(fā)熱、降低排氣噪音的效果 。

二、產(chǎn)品規(guī)格

三、節(jié)能效果實測

ES4A 安裝效果實測 

 注：1 電源頻率60Hz；2 密封氣體 5SLM；3 包含 ECO-SHOCK ES4A 功耗；4 300L 腔室反復(fù)排氣 60 秒節(jié)拍的測量示例。

四、核心設(shè)計特征

1. 顯著節(jié)能效果
ES4A 可與 ULVAC 的 LR/HR/UR 系列干泵配合使用，在極限壓力運行時，實測節(jié)電率可達 55%～59%，同時抑制干泵發(fā)熱，降低空調(diào)設(shè)備的電力消耗 。

2. 干泵性能提升
安裝后有望提升極限壓力性能，可在全壓力區(qū)域內(nèi)保持排氣速度不下降，還可降低排氣噪音 。

3. 適用范圍

• 適用于排出空氣、氮氣、氬氣等惰性氣體的干泵 

• 尤其適用于濺射設(shè)備等裝載/卸載室用的干泵 

• 在 1000Pa 以下連續(xù)運轉(zhuǎn)時間較長的用途中

4. 安裝簡便
通過將閥單元安裝在排氣管道上即可完成安裝，部分干泵型號可能需要在安裝前進行改造，請聯(lián)系 ULVAC 服務(wù)中心 。

五、注意事項

• 不能用于抽排易燃、助燃、有毒性氣體 

• ECO-SHOCK 不適用于部分爪式、螺桿式或軸封式干泵，請咨詢 ULVAC 確認兼容性 

• 安裝方式因干泵型號和結(jié)構(gòu)而異（例如 LR3600/LR3601(-R) 安裝 ECO-SHOCK 需要進行改造）

• ES4A 的閥單元為選配件，需另行訂購 

六、典型應(yīng)用場景

七、總結(jié)

ULVAC ECO-SHOCK ES4A 干泵節(jié)能附件通過安裝在干式真空泵的排氣口上，可在不降低排氣速度的前提下，實現(xiàn)最大 59% 的節(jié)電效果（與 ULVAC 公司產(chǎn)品相比）。同時具備抑制發(fā)熱、降低排氣噪音、提升極限壓力性能等多重優(yōu)勢，適用于濺射設(shè)備裝載/卸載室等需要頻繁排氣的惰性氣體排氣系統(tǒng)。ES4A 適用于 LR1800、LR3601-R 等中型和大型干泵的節(jié)能改造，是降低真空系統(tǒng)運行成本的有效方案。