池田屋精品！橫河電機 OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

池田屋精品！橫河電機 OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

在半導體制造、液晶面板生產、電子元件焊接及惰性氣體純化等工藝中，精確測量低至ppm級別的氧濃度是保障產品質量與生產安全的關鍵環(huán)節(jié)。橫河電機（Yokogawa）OX400型低濃度氧化鋯氧分析儀，基于氧化鋯傳感技術與新型薄膜沉積工藝，實現從0-10 ppm至0-100 vol% O?的寬范圍測量，其傳感器壽命約為傳統產品的3倍，適用于對低氧濃度監(jiān)測有較高要求的各類電子與工業(yè)應用場景。本文圍繞OX400的技術規(guī)格、功能配置及使用要點進行說明。

一、 產品基本規(guī)格參數

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀的核心技術指標如下：

二、 核心技術：氧化鋯傳感器與薄膜沉積工藝

OX400采用橫河電機自研的氧化鋯傳感器技術。其核心改進在于采用新型薄膜沉積工藝，在氧化鋯元件與鉑電極之間形成分子級鍵合，有效防止層間剝離，使傳感器壽命延長至傳統產品的約3倍。傳感器采用圓柱形設計，樣氣可直接流經傳感器內部而無延遲，有利于實現快速響應。該結構同時降低了樣品氣流入時空氣滲入的影響，提升了低濃度（ppm級）測量的精度。

三、 采樣系統配置

OX400提供三種采樣方式選項，以適應不同應用場景：

• 泵式：內置泵主動抽取樣氣，適用于樣氣壓力較低或需要穩(wěn)定流量的場合。

• 吸氣器式：利用壓縮空氣或氮氣作為動力源進行抽吸，無運動部件，適合需要長期免維護運行的場景。

• 無抽吸裝置：適用于樣氣本身具有一定壓力的場合。

四、 功能與自診斷能力

• 多量程與自動量程切換：支持自動量程（0-10 ppm至0-100%多檔自動切換）、固定量程及部分量程設定。

• 多流路切換（選配）：通過多選擇器功能，單臺分析儀可依次測量最多3個不同采樣點的氣體。

• 自診斷功能：可檢測傳感器錯誤、加熱器溫度異常、溫度傳感器斷線、設備溫度錯誤、CPU錯誤、風扇停止等故障狀態(tài)，并以報警或錯誤代碼形式輸出。

五、 安裝與校準要點

• OX400為臺式或面板安裝型，適用于室內非防爆區(qū)域，環(huán)境溫度需控制在0-40℃范圍內。

• 校準支持3點校準（10 ppm、1000 ppm、空氣）、2點校準（用戶設定零點和量程氣）、1點校準及空氣校準等方式。

• 傳感器可在現場更換，降低了維護成本和停機時間。

• 樣氣需不含可燃性氣體、硅、腐蝕性氣體及液體，以避免損壞傳感器或影響測量精度。

六、 典型應用場景

• 半導體與液晶制造：擴散爐、干燥爐及液晶面板生產過程中的氧濃度控制。

• 電子焊接工藝：錫爐、回流焊爐的保護氣氛氧濃度監(jiān)測。

• 惰性氣體環(huán)境控制：手套箱、氣體純化生產過程中的微量氧測量。

• 粉塵防爆安全：粉末輸送過程中氧濃度的連續(xù)監(jiān)測，預防粉塵爆炸風險。