日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

簡(jiǎn)要描述：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 GR60A 簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列

特點(diǎn)

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過(guò)調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。